當鋼在滲氮的同時通入一些含氧的介質，即可實現其氧氮共滲處理。處理以后的工件兼有蒸汽處理我滲氮處理的共同優點。
1． 氧氮共滲的特點：氧氮共滲后滲層可分三個區，表面氧化膜，次表層氧化區和滲氮nitriding。表面氧化膜與次表層氧化區厚度相近，一般為2-4μm.氧氮共滲后形成多孔Fe3O4層具有良好的減摩擦性能、散熱性能及抗粘著性能。
2． 氧氮共滲介質：氧氮共滲時一般用得較多的是不同濃度的氨水。氮原子向內擴散形成滲氮層，水分解形成氧原子向內擴散形成氧化層并在工件表面形成黑色氧化膜。
3． 氧氮共滲的主要用途： 氧氮共滲主要用于高速鋼刀具的表面處理。共滲時的溫度一般為540-590℃，時間通常為1-2小時。氨水濃度以25%-30%為宜。排氣升溫時通氨量應大些，以利于迅速排空爐內空氣。共滲期間通氨量應適中，降溫及擴散時應減少氨的滴入量。熱處理爐可采用有1Cr18Ni9Ti不銹鋼制成爐罐的井式氮化爐代用。爐罐應保護密封性（最好采用真空水冷橡膠密封）。爐頂應有一臺密封循環風扇。爐內保持300-1000Pa的正壓.
